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TFT玻璃基板减薄液及其制备方法、TFT玻璃基板减
作者:澳门波音平台   发布时间:2019-12-20 19:56

  当前位置:首页专利查询惠州市清洋实业有限公司专利正文

  本发明专利技术提供了一种TFT玻璃基板减薄液,包括:氢氟酸10%~12%,氟化氢铵4%~6%,硝酸5%~8%,硫酸5%~8%,水余量。将TFT玻璃基板减薄液的各组分混合在一起,既得成品。本发明专利技术提供的TFT玻璃基板减薄液可以稳定蚀刻速率,针对硼硅玻璃材质蚀刻效果更佳,能有效控制化学蚀刻过程中玻璃产生的凹点、划伤缺陷的放大,软化玻璃粉解决蚀刻过程中边缘凸起问题,且安全、稳定,有效满足TFT玻璃基板减薄品质要求,满足了客户的需求。

  【专利摘要】本专利技术提供了一种TFT玻璃基板减薄液,包括:氢氟酸10%~12%,氟化氢铵4%~6%,硝酸5%~8%,硫酸5%~8%,水余量。将TFT玻璃基板减薄液的各组分混合在一起,既得成品。本专利技术提供的TFT玻璃基板减薄液可以稳定蚀刻速率,针对硼硅玻璃材质蚀刻效果更佳,能有效控制化学蚀刻过程中玻璃产生的凹点、划伤缺陷的放大,软化玻璃粉解决蚀刻过程中边缘凸起问题,且安全、稳定,有效满足TFT玻璃基板减薄品质要求,满足了客户的需求。【专利说明】TFT玻璃基板减薄液及其制备方法、TFT玻璃基板减薄工艺

  本专利技术涉及TFT玻璃基板减薄领域,具体涉及一种TFT玻璃基板减薄液及其制备方法,还涉及一种TFT玻璃基板减薄工艺。

  液晶显示屏目前通常的减薄方法有两种,一为物理抛光研磨,一为化学蚀刻,其中化学薄化玻璃有一下几个特点:1、薄化时间短;2、薄化产量较高;3、成分简单,配制比较容易。目前,有进行TFT玻璃减薄的厂家,大部分是以氢氟酸为主要原料,且有些仅使用单一氢氟酸溶液,这种做法存在以下缺点:1,直接接触氢氟酸,毒性高,且该药液易产生氢氟酸气体,生产过程中特别是配制时危险性高,如果辅以加热,则危险性更高;2,蚀刻过程产生白色难溶物,容易悬浮在蚀刻液中及粘附于管道槽壁,难于处理。而且该难溶物吸附性较强,容易粘附在FPD玻璃表面,使TFT玻璃基板的边缘产生凸起,对TFT玻璃基板外观良品率以及后处理造成了很大的影响;3,生产过程中速率不稳定且利用率较低;4,由于利用率低,废液处理困难,与之相配套的废液处理成本较高;5,蚀刻过程中,玻璃上的凹点、划伤缺陷等会放大。随着薄化TFT市场发展越来越大,TFT玻璃基板的减薄将有越来越多的企业加入,采用单一氢氟酸根本满足不了 TFT玻璃基板减薄品质要求,适量添加其它辅助酸液来增加其TFT玻璃减薄的品质是必行之势。

  本专利技术的目的在于克服上述不足,提供一种TFT玻璃基板减薄液,为TFT玻璃基板提供安全、稳定、高效的生产环境的同时,能有效避免控制蚀刻过程中TFT玻璃基板产生的凹点、划伤缺陷的放大,解决凸起的问题。本专利技术的第一个方面是提供一种TFT玻璃基板减薄液,按照质量百分比计,其组分包括:氢氟酸10% ~12%,氟化氢铵4%~6%,硝酸5% ~8%,硫酸5% ~8%水余量。优选地,所述TFT玻璃基板减薄液的各组分重量配比为:氧氣酸10 .5% ~11.5%,氟化氢铵4.5%~5.5%,硝酸5.5% ~7.5%,硫酸5.5% ~7.5%,水余量。进一步优选地,所述TFT玻璃基板减薄液的各组分重量配比为:氢氟酸10%,氟化氢铵5%,硝酸8%,硫酸8%,水69%。其中所述水为超纯水,其纯度≥99%,优选为≥99.9%,更优选为≥99.99%。本专利技术的第二个方面是提供一种本专利技术第一个方面所述的TFT玻璃基板减薄液的制备方法:将本发 明第一个方面所述的TFT玻璃基板减薄液的各组分混合在一起,既得。本专利技术的第三个方面是提供一种TFT玻璃基板减薄工艺,包括以下步骤:步骤I,对TFT玻璃基板进行封胶处理,UV固化;步骤2,将步骤I处理后的TFT玻璃基板置入装有权利要求1所述的TFT玻璃基板减薄液的蚀刻槽内蚀刻;步骤3,清洗。优选地,所述TFT玻璃基板减薄工艺,还包括:步骤4,对步骤3处理后的TFT玻璃基板进行成品质量检验,不合格进行步骤5,合格进行步骤6 ;步骤5,物理抛光处理,清洗后进行步骤4 ;步骤6,进行出货品质检验,合格进行步骤7,不合格进行步骤4,步骤7,包装入库。本专利技术提供的TFT玻璃基板减薄液可以稳定蚀刻速率,针对硼硅玻璃材质蚀刻效果更佳,能有效控制化学蚀刻过程中玻璃产生的凹点、划伤缺陷的放大,软化玻璃粉解决蚀刻过程中边缘凸起问题,且安全、稳定,有效满足TFT玻璃基板减薄品质要求,满足了客户的需求。【专利附图】【附图说明】图1为本专利技术提供的TFT玻璃基板减薄工艺流程图。【具体实施方式】下面参照附图,结合具体的实施例对本专利技术作进一步的说明,以更好地理解本专利技术。实施例1一种TFT玻璃基板减薄液,按照质量百分比计,其组分包括:氢氟酸10%,氟化氢铵5%,硝酸8%,硫酸8%,超纯水69%。将配方中的超纯水、氢氟酸、氟化氢铵、硝酸、硫酸依次加入配酸容器中混合,用搅拌机以搅拌速度120r/min~200r/min的速度搅拌分散40~60min后,即可得到成品TFT玻璃基板减薄液。实施例2本实施例与实施例的不同在于,TFT玻璃基板减薄液的组分包括:氢氟酸12%,氟化氢铵4%,硝酸7%,硫酸5%,超纯水72%。实施例3本实施例与实施例的不同在于,TFT玻璃基板减薄液的组分包括:氢氟酸11%,氟化氢铵6%,硝酸8%,硫酸5%,超纯水70%。实施例4本实施例与实施例的不同在于,TFT玻璃基板减薄液的组分包括:氢氟酸10.5%,氟化氢铵5.5%,硝酸7%,硫酸6%,超纯水71%。实施例5本实施例与实施例的不同在于,TFT玻璃基板减薄液的组分包括:氢氟酸12%,氟化氢铵5%,硝酸5%,硫酸5%,超纯水73%。实施例6本实施例与实施例的不同在于,TFT玻璃基板减薄液的组分包括:氢氟酸10.5%,氟化氢铵5.5%,硝酸7.5%, 硫酸6.5%,超纯水70%。实施例7参照图1,一种TFT玻璃基板减薄工艺:I)从客户/供应商获得TFT玻璃基板材料进行IQC (来料质量控制),合格后,进行封胶处理,UV固化,手动清洗后,进行蚀刻前清洗;2)将处理后的TFT玻璃基板置入装有实施例1提供的TFT玻璃基板减薄液的蚀刻槽内蚀刻20min ;3)进行蚀刻后清洗;4)进行FQC (最终品质管制,FinalQualityControl),检测合格进行步骤6),检测不合格进行步骤5);5)物理抛光处理,清洗后进行步骤4);6)进行OQC (出货品质检验,Outgoing Quality Control),合格进行步骤7),不合格则进行步骤4);7)包装入库。采用实施例1~6提供的TFT玻璃基板减薄液,按照实施例7提供的TFT玻璃基板减薄工艺的步骤I)~3),对铝硅材质玻璃(3.97寸,厚度为1.1mm)进行减薄处理,单边的蚀刻量控制在0.15mm,然后进行外观检测和蚀刻速度检测,检查结果见表1。其中,对比例I采用3.5%的氢氟酸。表1检测结果【权利要求】1.一种 TFT玻璃基板减薄液,其特征在于,按照质量百分比计,其组分包括: 氢氟酸10%~12%, 氟化氢铵4%~6%, 硝酸5%~8%, 硫酸5%~8% 水余量。2.根据权利要求1所述的TFT玻璃基板减薄液,其特征在于,各组分重量配比为: 氢氟酸10.5%~11.5%, 氟化氢铵4.5%~5.5%, 硝酸5.5%~7.5%, 硫酸5.5%~7.5%, 水余量。3.根据权利要求2所述的TFT玻璃基板减薄液,其特征在于,各组分重量配比为: 氢氟酸10%, 氟化氢铵5%, 硝酸8%, 硫酸8%, 水 69%ο4.根据权利要求1~3中任意一项所述的TFT玻璃基板减薄液,其特征在于,所述水为超纯水,其纯度 99.99%。5.一种权利要求1所述的TFT玻璃基板减薄液,其特征在于,将权利要求1所述的TFT玻璃基

  一种TFT玻璃基板减薄液,其特征在于,按照质量百分比计,其组分包括:氢氟酸 10%~12%,氟化氢铵 4%~6%,硝酸 5%~8%,硫酸 5%~8%水余量。


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