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薄膜黄光蚀刻剥膜(三) - 这个你看过么?液晶
作者:澳门波音平台   发布时间:2020-05-05 07:27

  剥膜:用高浓度的碱液(NaOH 溶液)作脱膜液,将玻璃上余下的光刻胶剥离掉,从而使ITO玻璃形成与光刻掩模版完全一致的ITO图形。

  用有机溶液冲洗玻璃基本标签,将反应后的光刻胶带走,让玻璃保持洁净状态。这样就完成了第一道薄膜导电晶体制程,一般至少需要5道相同的过程,在玻璃上形成复杂精密的电极图形。

  这样,前段Array制程就结束了。从整个过程不难看出,前面在TFT玻璃上沉积ITO薄膜、涂光刻胶、曝光、显影、蚀刻,最终是为了在TFT玻璃上形成前期设计好的ITO电极图形,以便于在玻璃上控制液晶分子的运动。整个生产过程的大致步骤并不复杂,但是技术上的细节和注意事项非常繁琐,这里我们就不多做介绍了,有兴趣的朋友可以自行查阅相关资料。

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