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效率低 22 减薄工艺自身不良 1.不可擦拭脏污 2
作者:澳门波音平台   发布时间:2020-05-15 08:20

  LOGO 玻璃减薄 技术 材科112 贺文杰 5 ?浮法减薄技术 ?TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及 不良简介 2 浮法减薄技术 1 2 3 4 浮法玻璃成型的定义 浮法玻璃成型原理 玻璃液的拉薄 影响成型质量的因素 3 浮法玻璃成型的定义 ? 浮法玻璃成型的定义 浮法玻璃成型工艺过程为熔化、澄清、冷却的优 质玻璃液在调节闸板的控制下经流道平稳连续地 流入锡槽,在锡槽中漂浮在熔融锡液表面,在自 身重力的作用下摊平、在表面张力作用下抛光、 在主传动拉引力作用下向前漂浮,通过挡边轮控 制玻璃带的中心偏移,在拉边机的作用下实现玻 璃带的展薄或积厚并冷却、固型等过程,成为优 于磨光玻璃的高质量的平板玻璃。 4 浮法玻璃成型原理 ? 浮法玻璃成型原理 浮法玻璃的成型过程原理主要是描述玻璃液在锡 液面上的摊开过程、平衡厚度、抛光时间、玻璃 液的拉薄或增厚。 5 玻璃液的拉薄 ? 玻璃液的拉薄 浮玻璃液在重力和表面张力平衡时,在锡液面上 形成自然厚度约7mm 的玻璃带。拉引厚度小于 自然厚度的玻璃时,必须对玻璃带施加一定的拉 力。但是当增加拉引速度时,随着拉引力的增加 ,玻璃宽度和厚度就成比例地减小,因为在玻璃 带被拉薄的同时,表面张力的作用使得玻璃带增 厚或使带宽有所收缩,因此要使拉薄过程有效地 、顺利地进行,必须选择适宜的温度范围、采用 合理的工艺参数和拉薄措 6 玻璃液的拉薄 施。实践证明,温度范围883~769℃,有利于 玻璃带的拉薄,同时,玻璃带在拉薄区内获得了 展薄。为了得到并维持玻璃带在拉薄区内所获得 的宽度,在拉薄区玻璃带的两边,可根据工艺要 求安置若干个拉边机。 7 影响成型质量的因素 ? 影响成型质量的因素 浮法玻璃成型需要多方面的配合,任何一方面出 现问题均会造成玻璃质量的下降,严重者可导致 停产,其中影响成型质量的因素主要包括 锡槽温 度制度、气氛制度、压力制度等项。 8 TFT-LCD面板 玻璃减薄 1 2 3 减薄的作用 减薄工艺简介 常见的减薄不良 9 减薄的作用 1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性 10 减薄工艺简介 封胶 减薄 研磨 防止酸碱溶液从边 缘处进入液晶盒内 ,破坏封框胶,进 入Cell内部,影响 产品性能。 用酸碱对Glass进 行刻蚀,从而达到 减薄的目的。 获得光亮、平整的 表面。 11 封胶 UV胶 封胶工艺 防止强酸破坏Cell封框胶以及进入Cell内部 1. 加盖遮光垫 一般在这之前 还会进行检查。 2.涂胶 涂胶后静置 1min。 3.擦胶 清除多的UV胶。 4. UV固化 UV固化后检查 破坏TFT结 构 12 封胶 GLS UV灯 边框胶 加盖遮光垫 涂胶 UV固化 涂胶后检查 13 减薄原理及方式 6HF+SiO2-H2SiF6+2H2O 1 液体+固体(玻璃)-液体 2 原理及方式 4 3 14 三种方式优缺点 瀑布流 单片直立喷洒 多片直立浸泡 优点: 1.可以同时间处理 多片玻璃。 缺点: 1.装置大型。 2.外围产生沉淀物, 白色粉沫,容易粘 附在Glass上。 优点: 1.可以满足两面不 同蚀刻要求。多片 缺点: 1.蚀刻表面易产生 凹点。 优点: 1.表面最光滑,甚 至可以不用抛光 15 减薄流程 清洗 Text in here 蚀刻 Slimming 清洗 16 减薄设备 Loader 单元 其余组件: 供酸装置 HF酸浓度计 预清洗单 元 蚀刻单元 清洗单元 干燥单元 Unloader 单元 温度控制器 洗气装置 17 减薄工艺参数 1.反应时间与玻璃质量损失的关系 图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系 18 减薄工艺参数 2.反应速率与反应温度的关系 图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系 19 减薄工艺参数 3.反应速率与HF酸浓度的关系 图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之 间的关系 说明: (HF)2是HF酸溶液中的最主 要活性成分,因为以氢键形式存在 的H-F键比HF分子中的H-F键更 脆弱,与SiO2反应时更容易断裂。 20 减薄清洗单元(后) a. DI水 b. 常温 C. 5min DI浸泡 碱浸泡 a. 5-10% NaOH b. 45℃鼓泡 C. 10min 酸浸泡 a. 3% HCl b. 或常温 C. 1min DI浸泡 a. DI水 b. 常温 C. 5min 清洗 21 研磨 Reject 外观检查 Polishing 清洗 外观检查 Item Picture 自动研磨 手动研磨 适应产品 可修复不良 无破损产品 不良率高发,严重不良 所有产品 不良率较低的轻微不良 CAPA Q-panel抛光,效率高 针对单点不良修复,效率低 22 减薄工艺自身不良 1.不可擦拭脏污 2.薄化不匀 23 减薄工艺自身不良 玻璃本身 玻璃本身含有杂质. 玻璃被蚀刻 时局部蚀刻不一 致 玻璃表面 1. 除胶未干净,有残留 2. PT等未清洗干净 工艺设备 1. 设备故障(Conveyer) 2.瀑布流分叉(瀑布流蚀刻方式) 3.Nozzle堵塞(喷淋式蚀刻方式) 24 Slimming后划伤 Human eye invisible Slimming Slimming前发生轻微Scratch Slimming后Scratch程度加重 25 Slimming后划伤 1. Lift Pin 凹点 26 Slimming后划伤 2.Robot吸盘凹点 27 Slimming后划伤 3.轮印 28 造成B-ITO不良 1.水渍酸印 现象: ADS产品做完B-ITO后,产品与BOX接触的位置I


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